Käsitteen tiedot
Käytettävä termi
photolithography (microfabrication)
Tyyppi
-
General concept
Yläkäsite
Ohjaustermit
- optical lithography (microfabrication)
Kuuluu ryhmään
Muunkieliset termit
URI
http://www.yso.fi/onto/yso/p38923
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}