Hoppa till innehållet

Sök i vokabulär

Innehållets språk

Begreppsinformation

Föredragen term

atomlagerdeposition  

Typ

  • ysometa:Concept

Överordnat begrepp

Hänvisningstermer

  • ALD-metoden
  • ALD-teknik
  • atomlagerdeponering

Termer på andra språk

URI

http://www.yso.fi/onto/yso/p27468

Ladda ned detta begrepp:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Skapad 2014-01-10