Käsitteen tiedot
Käytettävä termi
atomlagerdeposition
Tyyppi
-
ysometa:Concept
Yläkäsite
Ohjaustermit
- ALD-metoden
- ALD-teknik
Muunkieliset termit
-
englanti
-
suomi
-
ALD-menetelmä
-
ALD-tekniikka
URI
http://www.yso.fi/onto/yso/p27468
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}